公司简介

公司厂区

专注半导体特种密封材料研发生产

北京恒源微新材料科技有限公司专注于全氟醚橡胶、氟橡胶、特种密封件的研发、生产与销售,拥有万级无尘生产车间及完善的检测实验设备。

公司深耕半导体制程密封领域多年,产品广泛应用于刻蚀、沉积、氧化扩散、离子注入等核心工艺,替代进口品牌,为国内半导体、光伏、新能源、生物医药企业提供高可靠性密封解决方案。

企业坚持技术自研、品质先行,可根据客户工况进行定制化配方开发与产品结构设计,快速打样、全程技术跟进。

核心优势

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无尘生产环境

480㎡万级无尘车间(局部百级),24小时净化系统,严格遵循半导体级生产管控标准

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自研核心配方

全氟醚材料性能对标国际一线品牌,耐温310℃,耐等离子体损耗低、低释气低颗粒

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头部客户认可

产品通过多家晶圆厂、设备厂商机台验证,实现长期稳定批量供货

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定制化研发服务

按需配方定制、结构定制、快速打样,提供选型、适配、售后全套技术支持

半导体制程应用

刻蚀与沉积工艺

  • 干法蚀刻:推荐FF706C、FF707
  • 湿法蚀刻:推荐FF701、FF702
  • 化学气相沉积CVD:推荐FF705CL、FF706C

氧化扩散与热处理

  • 氧化/扩散:推荐FF708H、FF703H
  • 快速退热RTP:推荐FF704、FF708H
  • 腔体密封:推荐FF706C、FF707

合作领域

半导体设备
晶圆制造
光伏新能源
生物医药
精密电子
航空航天